[实用新型]用于洗刷基板的滚刷和基板传送装置有效
| 申请号： | 201620616805.3 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN205789893U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 吴蕴泽 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司31264 | 代理人： | 蔡光仟 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于洗刷基板的滚刷，包括滚刷轴，所述滚刷轴上缠绕有第一刷毛和第二刷毛，所述第一刷毛和所述第二刷毛以螺旋方式交替缠绕在所述滚刷轴的外表面上，所述第一刷毛和所述第二刷毛为不同材质的刷毛。本实施例提供的用于洗刷基板的滚刷和基板传送装置，在对基板背面洗刷的过程中，滚刷转动时，同一洗刷位置会经历第一刷毛和第二刷毛这两种不同刷毛的交替洗刷，而第一刷毛和第二刷毛由不同材质的刷毛组成，改变了原有单一刷毛的洗刷方式，增加了不同刷毛与基板背面的交替接触，能更有效去除基板背面的滚轮印迹，增强了洗刷效果，由于两种刷毛交替洗刷，相较单一刷毛还能延长刷毛的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 洗刷 传送 装置 | ||
【主权项】：
一种用于洗刷基板的滚刷(20)，包括滚刷轴(21)，其特征在于，所述滚刷轴(21)上缠绕有第一刷毛(22)和第二刷毛(23)，所述第一刷毛(22)和所述第二刷毛(23)以螺旋方式交替缠绕在所述滚刷轴(21)的外表面上，所述第一刷毛(22)和所述第二刷毛(23)为不同材质的刷毛。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
