[实用新型]一种籽晶漂浮于生长溶液的GaN晶体生长装置有效
| 申请号： | 201620579824.3 | 申请日： | 2016-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN205741289U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 张新峰 | 申请（专利权）人： | 张新峰 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B9/00 |
| 代理公司： | 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 | 代理人： | 郑志强 |
| 地址： | 226541 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种籽晶漂浮于生长溶液的GaN晶体生长装置，包括釜体，釜体内设有坩埚，坩埚中装设有生长溶液，生长溶液的表面处通过漂浮体固定有籽晶，漂浮体通过拉绳限制在中心区域，坩埚的下端设有转盘，转盘通过转轴连接有位于釜体外的转动电机。本实用新型中籽晶通过漂浮体漂浮于生长溶液，转动电机通过转轴驱动转盘旋转，坩埚也随之旋转，通过这种方式加快N在氮气氛围与生长溶液界面处溶解，改善生长溶液中N浓度分布均衡性，利于结晶，同时漂浮体在拉绳限制作用下始终处于生长溶液表面处的中心区域，进一步保障结晶效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 籽晶 漂浮 生长 溶液 gan 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
一种籽晶漂浮于生长溶液的GaN晶体生长装置，包括釜体(1)，所述釜体(1)内设有坩埚(2)，所述坩埚(2)中装设有生长溶液(3)，所述生长溶液(3)的表面处通过漂浮体(4)固定有籽晶(5)，其特征在于：所述漂浮体(4)通过至少一个拉绳(6)限制在生长溶液(3)表面处的中心区域，所述坩埚(2)的下端设有转盘(7)，所述转盘(7)通过转轴(8)连接有位于釜体(1)外的转动电机(9)。
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