[实用新型]一种实验室用蚀刻装置有效

专利信息
申请号: 201620573569.1 申请日: 2016-06-13
公开(公告)号: CN205710922U 公开(公告)日: 2016-11-23
发明(设计)人: 张本汉 申请(专利权)人: 信丰正天伟电子科技有限公司
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08;H01L21/67
代理公司: 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 代理人: 赵丽丽
地址: 341600 江西*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型涉及一种蚀刻装置,尤其涉及一种实验室用蚀刻装置。本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够提高反应速率、能够提高蚀刻质量的实验室用蚀刻装置。为了解决上述技术问题,本实用新型提供了这样一种实验室用蚀刻装置,包括有底板、左侧板、滑轨Ⅰ、支杆Ⅰ、支杆Ⅱ、支杆Ⅲ、滑轨Ⅱ、右侧板、固定板、蚀刻液箱、滑块Ⅰ、齿条Ⅰ、电机、皮带轮Ⅰ、齿轮Ⅰ、处理箱、滑块Ⅱ、齿条Ⅱ、皮带轮Ⅱ、齿轮Ⅱ、平皮带、流通箱Ⅰ、活塞Ⅰ、连杆Ⅰ、水泵、出水管、阀门Ⅰ、流通箱Ⅱ、活塞Ⅱ、连杆Ⅱ、流通管、阀门Ⅱ、进水管、阀门Ⅲ、单向阀Ⅰ和单向阀Ⅱ。本实用新型达到了反提高应速率、能够提高蚀刻质量的效果。
搜索关键词: 一种 实验室 蚀刻 装置
【主权项】:
一种实验室用蚀刻装置,其特征在于,包括有底板(1)、左侧板(2)、滑轨Ⅰ(3)、支杆Ⅰ(4)、支杆Ⅱ(5)、支杆Ⅲ(6)、滑轨Ⅱ(7)、右侧板(8)、固定板(9)、蚀刻液箱(10)、滑块Ⅰ(11)、齿条Ⅰ(12)、电机(13)、皮带轮Ⅰ(14)、齿轮Ⅰ(15)、处理箱(16)、滑块Ⅱ(17)、齿条Ⅱ(18)、皮带轮Ⅱ(19)、齿轮Ⅱ(20)、平皮带(21)、流通箱Ⅰ(22)、活塞Ⅰ(23)、连杆Ⅰ(24)、水泵(25)、出水管(26)、阀门Ⅰ(27)、流通箱Ⅱ(28)、活塞Ⅱ(29)、连杆Ⅱ(30)、流通管(31)、阀门Ⅱ(32)、进水管(33)、阀门Ⅲ(34)、单向阀Ⅰ(35)和单向阀Ⅱ(36),底板(1)上从左至右依次设有左侧板(2)、滑轨Ⅰ(3)、支杆Ⅰ(4)、支杆Ⅱ(5)、支杆Ⅲ(6)、滑轨Ⅱ(7)和右侧板(8),左侧板(2)与右侧板(8)之间上部连接有固定板(9),固定板(9)上安装有蚀刻液箱(10),滑轨Ⅰ(3)上设有滑块Ⅰ(11),滑块Ⅰ(11)上设有齿条Ⅰ(12),支杆Ⅰ(4)上设有电机(13),电机(13)的后部设有皮带轮Ⅰ(14),皮带轮Ⅰ(14)的后部安装有齿轮Ⅰ(15),齿轮Ⅰ(15)与齿条Ⅰ(12)啮合,支杆Ⅱ(5)上安装有处理箱(16),滑轨Ⅱ(7)上设有滑块Ⅱ(17),滑块Ⅱ(17)上设有齿条Ⅱ(18),支杆Ⅲ(6)上设有皮带轮Ⅱ(19),皮带轮Ⅱ(19)的后部设有齿轮Ⅱ(20),齿轮Ⅱ(20)与齿条Ⅱ(18)啮合,皮带轮Ⅰ(14)与皮带轮Ⅱ(19)之间连接有平皮带(21),左侧板(2)上中部安装有流通箱Ⅰ(22),流通箱Ⅰ(22)内设有活塞Ⅰ(23),活塞Ⅰ(23)的底端连接有连杆Ⅰ(24),连杆Ⅰ(24)的底部与齿条Ⅰ(12)连接,处理箱(16)内设有水泵(25),水泵(25)与流通箱Ⅰ(22)之间连接有出水管(26),出水管(26)上设有阀门Ⅰ(27),右侧板(8)左侧中部安装有流通箱Ⅱ(28),流通箱Ⅱ(28)内设有活塞Ⅱ(29),活塞Ⅱ(29)的底端连接有连杆Ⅱ(30),连杆Ⅱ(30)的底端与齿条Ⅱ(18)连接,流通箱Ⅰ(22)与流通箱Ⅱ(28)上部之间连接有流通管(31),流通管(31)上设有阀门Ⅱ(32),流通管(31)的右侧底端与处理箱(16)之间连接有进水管(33),进水管(33)位于阀门Ⅱ(32)的右侧,进水管(33)上设有阀门Ⅲ(34),流通箱Ⅰ(22)与蚀刻液箱(10)之间连接有单向阀Ⅰ(35),蚀刻液箱(10)与流通箱Ⅱ(28)之间连接有单向阀Ⅱ(36)。
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