[实用新型]一种高精度低g值SOI微加速度计有效
| 申请号： | 201620563072.1 | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN205665264U | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 张照云;苏伟;唐彬;高杨;彭勃;陈颖慧;熊壮 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种高精度低g值SOI微加速度计，包括由上至下设置的结构层、绝缘层、衬底层和基底层，绝缘层设在结构层跟衬底层之间；该结构层上设有第一质量块、可动梳齿、固定梳齿以及金属引线电极，可动梳齿一端跟第一质量块连接，另一端为自由端，固定梳齿一端通过第一锚点分别跟绝缘层和基底层连接，另一端为自由端；可动梳齿跟固定梳齿相间构成平行板电容器；该衬底层上设有第二质量块、支撑梁，支撑梁的一端跟第二质量块连接，另一端通过第二锚点跟基底层连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 soi 加速度计 | ||
【主权项】：
一种高精度低g值SOI微加速度计，其特征在于：包括由上至下设置的结构层、绝缘层、衬底层和基底层，绝缘层设在结构层跟衬底层之间；该结构层上设有第一质量块、可动梳齿、固定梳齿以及金属引线电极，可动梳齿一端跟第一质量块连接，另一端为自由端，固定梳齿一端通过第一锚点分别跟绝缘层和基底层连接，另一端为自由端；可动梳齿跟固定梳齿相间构成平行板电容器；该衬底层上设有第二质量块、支撑梁，支撑梁的一端跟第二质量块连接，另一端通过第二锚点跟基底层连接。
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