[实用新型]一种硅棒切割用的主辊

摘要

本实用新型涉及一种硅棒切割用的主辊，属于硅片生产技术领域，该主辊包括主辊本体，在主辊本体外围设置有定位切割线用的齿槽，所述的齿槽底部设置有定位槽，定位槽的槽口与齿槽的槽壁相连接，定位槽的两侧壁之间的夹角α大于齿槽的两槽壁的夹角β，定位槽的槽口与齿槽的槽口之间的垂直距离为30um，齿槽的槽口宽度为60um，切割线的半径为50um，切割线位于齿槽中并随主辊本体的转动而移动，切割线的两侧分别与两侧的槽壁相接触，切割线的底部与定位槽的侧壁相接触，此时，切割线在齿槽中的接触面积和摩擦力均增大，切割线在移动过程中更加稳定，跳线和摆动的情况显著减少，从而提高了切割线的使用寿命和切割硅片的质量。

主权项

一种硅棒切割用的主辊，包括主辊本体(1)，在主辊本体(1)外围设置有定位切割线(5)用的齿槽(2)，其特征在于：所述的齿槽(2)底部设置有定位槽(3)，定位槽(3)的槽口与齿槽(2)的槽壁(4)相连接，定位槽(3)的两侧壁之间的夹角α大于齿槽(2)的两槽壁(4)的夹角β。