[实用新型]一种球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置有效
| 申请号： | 201620558640.9 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN205826560U | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 陆惠宗;钱佳立 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置，包括偏振激光器，所述偏振激光器的输出方向设置第一偏振片和分光棱镜，所述分光棱镜的反射出光侧依次布置1/2波片、渥氏棱镜和物镜，所述物镜远离渥氏棱镜的另一侧为被测面；所述分光棱镜的折射出光侧布置反射镜，所述反射镜的出光方向依次布置第二偏振片、第二汇聚镜和用于实现剪切干涉检测的第一光电探测器，所述反射镜、分光棱镜、1/2波片、渥氏棱镜和物镜位于同一光轴上。本实用新型提供一种提升检测效率、减少误判率的球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 球体 表面 微小 瑕疵 光学 快速 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置，其特征在于：所述检测装置包括偏振激光器，所述偏振激光器的输出方向设置第一偏振片和分光棱镜，所述分光棱镜的反射出光侧依次布置1/2波片、渥氏棱镜和物镜，所述物镜远离渥氏棱镜的另一侧为被测面；所述分光棱镜的折射出光侧布置反射镜，所述反射镜的出光方向依次布置第二偏振片、第二汇聚镜和用于实现剪切干涉检测的第一光电探测器，所述反射镜、分光棱镜、1/2波片、渥氏棱镜和物镜位于同一光轴上。
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