[实用新型]烘烤设备有效

专利信息
申请号: 201620532772.4 申请日: 2016-06-02
公开(公告)号: CN205789890U 公开(公告)日: 2016-12-07
发明(设计)人: 孙健 申请(专利权)人: 昆山国显光电有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 代理人: 唐清凯
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种烘烤设备,包括工艺腔室、进气管和排气管;进气管与排气管在所述工艺腔室异面设置;进气管设置有出气口,用于通过出气口将加热后的工艺气体输入至工艺腔室内,由工艺气体对置于工艺腔室内的器件进行加热烘烤;排气管设置在工艺腔室的内部,开设有进气口和排气口,用于通过进气口将工艺气体引入排气管内,并通过排气口由工艺腔室排出。由此,当采用上述烘烤设备对器件进行加热烘烤时,能够通过位于工艺腔室内部的排气管内的工艺气体的热量对器件进行预加热,从而缩短了工艺腔室内的预设烘烤温度的上升时间,降低了能源消耗。有效解决了传统的烘烤设备容易产生能源浪费的问题。
搜索关键词: 烘烤 设备
【主权项】:
一种烘烤设备,其特征在于,包括工艺腔室、进气管和排气管;所述进气管与所述排气管在所述工艺腔室异面设置;所述进气管设置有出气口;且所述进气管用于通过所述出气口将加热后的工艺气体输入至所述工艺腔室内,由所述工艺气体对置于所述工艺腔室内的器件进行加热烘烤;所述排气管设置在所述工艺腔室的内部,且开设有进气口和排气口;所述排气管用于通过所述进气口将所述工艺气体引入所述排气管内,并将所述工艺气体通过所述排气口由所述工艺腔室排出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国显光电有限公司,未经昆山国显光电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201620532772.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top