[实用新型]LED晶圆激光装置有效
申请号: | 201620494103.2 | 申请日: | 2016-05-27 |
公开(公告)号: | CN205764431U | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 肖和平;陈亮;曹来志;马祥柱;杨凯 | 申请(专利权)人: | 扬州乾照光电有限公司 |
主分类号: | B23K26/064 | 分类号: | B23K26/064;B23K26/38;B23K26/402 |
代理公司: | 扬州市锦江专利事务所32106 | 代理人: | 江平 |
地址: | 225009 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | LED晶圆激光装置,属于激光加工技术领域,采用两组激光发射器,分别形成两组单独的激光束,将分出的两束光分别经反光镜、扩束镜、聚焦镜、保护镜,使两束光斑相距5mm以内,并最终聚焦后到达待加工LED晶圆表面切割线预留位置,LED晶圆只须移动一次,即可达到高度两次加工的目的,大大提升了切割加工效率。 | ||
搜索关键词: | led 激光 装置 | ||
【主权项】:
LED晶圆激光装置,包括第一组激光发射器,在第一组激光发射器的出光线上设置第一反光镜,在第一反光镜的反射光线上设置第一扩束镜,在第一扩束镜的出光线上设置第一聚焦镜,在第一聚焦镜的出光线上设置第一保护镜;其特征在于所述激光装置还设置第二组激光发射器,在第二组激光发射器的出光线上设置第二反光镜,在第二反光镜的反射光线上设置第三反光镜,在第三反光镜的反射光线上设置第二扩束镜,在第二扩束镜的出光线上设置第二聚焦镜,在第二聚焦镜的出光线上设置第二保护镜。
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