[实用新型]一种高效背照明ZnO基FPA阵列紫外线探测器

摘要

本实用新型公开了一种高效背照明ZnO基FPA阵列紫外线探测器，包括衬底，衬底上且邻近边缘处均匀设有ZnO台柱安装槽，ZnO台柱安装槽内竖直安装有ZnO台柱，ZnO台柱穿过ITO透明导电层，ITO透明导电层上表面的中心部留有平滑反光面，ZnO台柱的顶端焊接有竖直的AI电极，AI电极的顶端为插指电极。本实用新型结构简单，设计巧妙，使用方便，将ZnO台柱和AI电极构成阵列后，其空间电荷区将是同体积传统层叠式PN结薄膜所具有的空间电荷区的上百倍，甚至更大，并且使用了插指电极，使用起来更加高效。

主权项

一种高效背照明ZnO基FPA阵列紫外线探测器，包括衬底（1），其特征在于：所述的衬底（1）的上方铺设有ITO透明导电层（2），衬底（1）上且邻近边缘处均匀设有ZnO台柱安装槽（3），ZnO台柱安装槽（3）内竖直安装有ZnO台柱（5），ZnO台柱（5）穿过ITO透明导电层（2），所述ITO透明导电层（2）上表面的中心部留有平滑反光面（4），所述ZnO台柱（5）的顶端焊接有竖直的AI电极（6），AI电极（6）的顶端为插指电极（7）。