[实用新型]一种用于晶片刷洗的陶瓷盘刷洗结构

摘要

本实用新型公开了一种用于晶片刷洗的陶瓷盘刷洗结构，其特征在于：该陶瓷盘刷洗结构包括工作平台升降组件，刷洗主轴组件、甩干轴组件、毛刷移动组件、干燥空气吹扫系统、刷洗槽和调速电机组件，所述调速电机组件安装在工作平台升降组件的工作平台和导向柱固定板之间，具有药液喷洒、毛刷自动刷洗、毛刷高度调节、晶片固定、晶片甩干及干燥空气吹扫功能。

主权项

一种用于晶片刷洗的陶瓷盘刷洗结构，其特征在于：该陶瓷盘刷洗结构包括工作平台升降组件，刷洗主轴组件、甩干轴组件、毛刷移动组件、干燥空气吹扫系统、刷洗槽和调速电机组件，所述调速电机组件安装在工作平台升降组件的工作平台和导向柱固定板之间，所述刷洗主轴组件通过螺钉固定安装在工作平台升降组件的工作平台上，通过调速电机组件驱动进行高速旋转，同时还与真空系统连接在刷洗主轴组件顶部的真空吸附头产生真空，用于固定晶片，所述的甩干轴组件通过螺钉固定安装在工作平台升降组件的工作平台上，通过调速电机组件驱动进行高速或低速旋转，所述刷洗槽安装在工作平台升降组件的工作平台上，并罩住刷洗主轴组件和甩干轴组件，所述所述毛刷移动组件上的毛刷在伺服电机系统的驱动下，可以实现毛刷的旋转运动，并往复刷洗晶片，通过调节毛刷移动组件上气缸驱动和调节螺杆，实现调整毛刷与晶片在刷洗运动时的距离，所述毛刷移动组件还包括清洗液喷洒结构、清水喷洒结构和吹扫系统，所述清洗液喷洒结构跟随毛刷的刷洗位置进行药业喷洒，所述吹扫系统安装在毛刷移动组件的刷洗总支撑板上，且位于甩干轴组件的上方，所述毛刷移动组件还包括挡水护罩，所述挡水护照固定在刷洗总支撑板底部，通过工作平台升降组件的上下移动，使挡水护罩与刷洗槽打开或闭合，刷洗的时候可以保持刷洗液不会飞溅。