[实用新型]老化测试板有效
| 申请号： | 201620436793.6 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN205582892U | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 位树 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种老化测试板，包括：板体、夹板和布线板，所述板体上设置有接入端，所述夹板设置在所述板体上，所述夹板中设置有若干连接端，所述布线板设置在所述夹板上，所述连接端连接所述板体与所述布线板，所述夹板与所述布线板通过固定件固定在所述板体上。本实用新型提供的老化测试板中，通过连接端连接板体与布线板，所述夹板与所述布线板通过固定件固定在所述板体上，在此通过夹板整体运动来实现板体与布线板之间的连接，从而能便捷的实现板体与布线板之间的连接与分开；同时，整体运动也能减少碰撞与摩擦，从而减少操作中带来的损伤，进而可以增加使用次数，减少老化测试板的损失。 | ||
| 搜索关键词： | 老化 测试 | ||
【主权项】：
一种老化测试板，其特征在于，包括：板体，所述板体上设置有接入端；夹板，所述夹板设置在所述板体上，所述夹板中设置有若干连接端；布线板，所述布线板设置在所述夹板上；所述连接端连接所述板体与所述布线板，所述夹板与所述布线板通过固定件固定在所述板体上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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