[实用新型]选择性除膜装置

摘要

本实用新型涉及一种选择性除膜装置，属于膜层制备技术领域。该选择性除膜装置包括：除膜机构，包括刮膜件，所述刮膜件具有随除膜机构的移动将膜层刮除的刃部；以及移动机构，包括位移装置和定位装置，所述除膜机构固定安装于所述定位装置上，且该定位装置可沿所述位移装置运动，从而带动所述除膜机构移动。上述选择性除膜装置，通过定位装置沿位移装置的运动，带动除膜机构移动，从而利用安装于除膜机构上的刮膜件，刮除附着于基板上的膜层，并通过控制定位装置的移动路线，来控制刮膜件的移动轨迹，以达到选择性除膜的目的，实现不同图案的除膜效果。

主权项

一种选择性除膜装置，其特征在于，包括：除膜机构，包括刮膜件，所述刮膜件具有随除膜机构的移动将膜层刮除的刃部；以及移动机构，包括位移装置和定位装置，所述除膜机构固定安装于所述定位装置上，且该定位装置可沿所述位移装置运动，从而带动所述除膜机构移动。