[实用新型]微型二维扫描镜有效
申请号: | 201620380556.2 | 申请日: | 2016-04-29 |
公开(公告)号: | CN205720868U | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | 马玉婷;钟金凤;严心涛;吴云良;陈忠祥;裴智果;王策 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 史霞 |
地址: | 215163 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本案涉及一种微型二维扫描镜,包括:支架,其由金属条围成一个框体,具有两条侧臂;反射片,其被两条对称分布的弹性臂悬置在所述框体内,所述弹性臂的一端连接所述反射片,另一端连接所述支架的侧臂;压电片,其设置在所述支架的侧臂上,用于在电场作用下产生逆压电效应,从而驱动反射片旋转。本案解决了一维和二维扫描镜扫描频率低、结构复杂、加工难度大的问题;整体结构简单,在一种驱动源、单片压电片下实现反射镜的二维偏转扫描,易于微型化;成本低廉,采用金属基底和激光刻板工艺即可完成基底的加工,利于大规模批量生产。 | ||
搜索关键词: | 微型 二维 扫描 | ||
【主权项】:
一种微型二维扫描镜,其特征在于,包括:支架,其由金属条围成一个框体,具有两条侧臂;反射片,其被两条对称分布的弹性臂悬置在所述框体内,所述弹性臂的一端连接所述反射片,另一端连接所述支架的侧臂;压电片,其设置在所述支架的侧臂上,用于在电场作用下产生逆压电效应,从而驱动反射片旋转。
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