[实用新型]一种可在线更换籽晶的泡生法蓝宝石晶体生长炉

摘要

本实用新型公开了一种可在线更换籽晶的泡生法蓝宝石晶体生长炉，具有主炉腔和副炉腔，所述炉盖与副炉腔通过电动挡板阀隔开，电动挡板阀由炉台控制系统控制开关，在副炉腔左面设有冷却阀，右面设有开启副炉腔的炉门；所述籽晶杆安装在提拉系统上，并向下延伸依次穿过管体、副炉腔和炉盖，最终到达主炉腔的内部。使用时首先缓慢打开电动挡板阀，将籽晶杆提升至副炉腔，而后关闭电动挡板阀，对副炉腔内进行冷却，再对籽晶进行更换，最后抽真空、缓慢下降籽晶杆、预热籽晶，重新引晶。本实用新型能够实现在线更换籽晶，具有能耗低、生产成本低的优点，与此同时可有效避免因籽晶问题无法引晶而耽误生产周期的发生，确保生产的连续性。

主权项

一种可在线更换籽晶的泡生法蓝宝石晶体生长炉，包括主炉腔、炉盖、提拉系统、籽晶杆、籽晶和真空系统，其特征在于：还包括管体、副炉腔、电动挡板阀和炉台控制系统；其中，所述主炉腔通过橡胶圈与炉盖密封连接，主炉腔侧面连接至真空系统；所述炉盖与副炉腔通过电动挡板阀隔开，炉台控制系统与电动挡板阀线路相连用于控制电动挡板阀的开闭；在副炉腔的一侧还设置有用于向副炉腔内部输入冷却气体的冷却阀，另一侧设有用于开启副炉腔的炉门；副炉腔的上端与管体下端密封，管体上端与提拉系统相连接；所述籽晶杆安装在提拉系统上，并向下延伸依次穿过管体、副炉腔和炉盖，最终到达主炉腔的内部；所述籽晶装设在籽晶杆底端。