[实用新型]光照射装置有效
申请号: | 201620270687.5 | 申请日: | 2016-04-01 |
公开(公告)号: | CN205539851U | 公开(公告)日: | 2016-08-31 |
发明(设计)人: | 那胁洋平;野本宪太郎 | 申请(专利权)人: | 优志旺电机株式会社 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 房永峰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种能够效率良好地进行光照射的小型的光照射装置。光照射装置是对在预先设定的照射区域通过的工件照射光的光照射装置,该光照射装置具备:悬浮台,沿在上述照射区域上述工件通过的通过方向延伸,对该工件之下吹出气体并使该工件悬浮;以及保持移动机,在与上述通过方向相交的方向上夹着上述悬浮台的两肋设有一对,该一对保持移动机的各保持移动机具有保持上述工件并朝向上述通过方向移动的功能,在该一对保持移动机中的一方保持该工件并移动时,该一对保持移动机中的另一方与该工件错开并沿与该通过方向的相反方向移动。 | ||
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【主权项】:
一种光照射装置,对在预先设定的照射区域通过的工件照射光,其特征在于,具备:悬浮台,沿在上述照射区域上述工件通过的通过方向延伸,对该工件之下吹出气体并使该工件悬浮;以及保持移动机,在与上述通过方向相交的方向上夹着上述悬浮台的两肋设有一对,该一对保持移动机的各保持移动机具有保持上述工件并朝向上述通过方向移动的功能,在该一对保持移动机中的一方保持该工件并移动时,该一对保持移动机中的另一方与该工件错开并沿与该通过方向的相反方向移动。
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