[实用新型]一种多晶硅铸锭炉进气排杂结构有效
申请号: | 201620267062.3 | 申请日: | 2016-03-31 |
公开(公告)号: | CN205576351U | 公开(公告)日: | 2016-09-14 |
发明(设计)人: | 雷琦;张学日;何亮;胡动力 | 申请(专利权)人: | 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 338000 江西省新余市高*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉进气排杂结构,该进气排杂结构包括进气管、上盖板、下盖板和护板,上盖板中间开有通孔并与进气管相连,护板上设有出气通道,该上盖板、下盖板和护板之间形成一个容纳气体的空腔。通过该进气排杂结构,避免了坩埚外部的杂质气体进入硅熔体,降低了硅锭中的碳含量和金属含量。同时还能避免气流直接进入坩埚对硅熔体表面造成冲击,从而使硅熔体表面中心区域的温度与坩埚侧壁表面区域的温度相差较大,造成坩埚涂层脱落,出现粘埚现象,同时还能避免在硅锭中混入一些氮化硅及氧杂质。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 炉进气排杂 结构 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉进气排杂结构,其特征在于:所述的进气排杂结构包括进气管、上盖板、下盖板和护板,所述上盖板的中间开有通孔并与所述进气管相连,所述护板上设有出气通道,所述上盖板、所述下盖板和所述护板之间形成一个容纳气体的空腔。
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