[实用新型]一种TC固定装置有效

专利信息
申请号: 201620243968.1 申请日: 2016-03-28
公开(公告)号: CN205473979U 公开(公告)日: 2016-08-17
发明(设计)人: 张强 申请(专利权)人: 和舰科技(苏州)有限公司
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52;C30B25/16
代理公司: 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 代理人: 刘小峰
地址: 215123 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供了一种TC固定装置,其包括下卡块、与下卡块嵌合的上卡块,其中,在下卡块和上卡块侧面分别设置有紧固螺钉插入孔,且上卡块和下卡块是上下贯通的。由此,可通过向下卡块中插入紧固螺钉以将TC固定装置固定于TDMAT钢瓶上,将TC通过贯通孔插入钢瓶中,并通过将紧固螺钉插入上卡块的紧固螺钉插入孔中将TC固定于钢瓶中。通过本实用新型的固定装置,TC能够稳定地固定于TDMAT钢瓶的最底部,避免因MOCVD机台的振动而发生松脱,从而能够准确测定钢瓶中的温度,同时,TC的使用寿命也得到了有效延长。
搜索关键词: 一种 tc 固定 装置
【主权项】:
一种TC固定装置,其特征在于,包括下卡块、与所述下卡块嵌合的上卡块,在所述下卡块和所述上卡块侧面分别设置有紧固螺钉插入孔,且所述上卡块和所述下卡块是上下贯通的。
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