[实用新型]一种低漏电流铁酸铋薄膜

摘要

本实用新型公开了一种低漏电流铁酸铋薄膜，所述薄膜包括衬底，以及衬底上的Bi_4‑xNd_xTi₃O₁₂薄膜层，Bi_4‑xNd_xTi₃O₁₂薄膜层上是BiFeO₃薄膜层，并且Bi_4‑xNd_xTi₃O₁₂薄膜层与BiFeO₃薄膜层交替搭配，形成Bi_4‑xNd_xTi₃O₁₂/BiFeO₃复合薄膜，其中X的取值范围是0.4‑0.85。本实用新型通过在BiFeO₃薄膜与衬底间引入Bi_4‑xNd_xTi₃O₁₂铁电薄膜缓冲层来降低BiFeO₃薄膜的漏电流，提高铁电性能，在高电场下，该复合薄膜的漏电流密度比纯BiFeO₃薄膜降低了4个数量级，铁电性能也得到了很大的提高。

主权项

一种低漏电流铁酸铋薄膜，包括衬底，其特征在于：衬底上是Bi_4‑xNd_xTi₃O₁₂薄膜层，Bi_4‑xNd_xTi₃O₁₂薄膜层上是BiFeO₃薄膜层，并且Bi_4‑xNd_xTi₃O₁₂薄膜层与BiFeO₃薄膜层交替搭配，形成Bi_4‑xNd_xTi₃O₁₂/BiFeO₃复合薄膜，Bi_4‑xNd_xTi₃O₁₂/BiFeO₃复合薄膜上制备了上电极，其中X的取值范围是0.4‑0.85。