[实用新型]一种基板检测装置有效
| 申请号： | 201620208284.8 | 申请日： | 2016-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN205426893U | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 郑云蛟;陈鹏;李坚;高越;车静 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 017020 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基板检测装置，属于基板检测技术领域，其可解决现有的基板边缘缺陷检测效率低，易漏检的问题。本实用新型的基板检测装置中，承载台与基板边缘之间设有多个垫块，所述垫块包括空心垫块，其中的空心垫块用于与基板相邻的面设有凹部，所述凹部连接气体管道，通过气体管道抽吸凹部的空气，根据凹部真空吸附值差异感知基板边缘的缺陷，该基板检测装置检测方便，且检测效率高、精度高，不易出现漏检。本实用新型的基板检测装置适用于检测各种显示基板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种基板检测装置，其特征在于，包括：承载台，用于承载基板；多个垫块，设置于所述承载台上与基板边缘对应的位置，其中，所述垫块包括空心垫块，所述空心垫块与基板相邻的面设置有凹部，所述凹部连接气体管道，所述气体管道用于抽吸凹部的空气。
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