[实用新型]一种发光二极管外延片测试系统

摘要

一种发光二极管外延片测试系统，用于对完成外延生长后的晶片进行光电参数检测，检测所述晶片的外延生长状况，所述测试系统包括收光装置、测试装置和基板。所述收光装置包括支架、收光组件和光纤，所述收光组件和光纤位于晶片发光面上方。

主权项

一种发光二极管外延片测试系统，用于对完成外延生长后的晶片进行光电参数检测，检测所述晶片的外延生长状况，定义晶片出光面为上表面，所述测试系统包括：基板，用于承载晶片；收光装置，至少由支架、收光组件和光纤组成，所述收光组件和光纤位于所述晶片上表面上方，固定在所述支架上，所述收光组件具备测量晶片发光亮度的功能，所述光纤具备测量晶片发光波长的功能；测试装置，至少由电源、电笔和处理器组成，所述电源为所述电笔供电，所述电笔与所述处理器连接，所述处理器具备记录、储存和传输信息的功能，所述电笔与所述晶片电性接触，处理器、电笔、晶片构成电流回路，所述电流回路向所述处理器传递电性信息；所述收光组件和所述光纤分别与所述处理器连接，向所述处理器传递光学信息。