[实用新型]一种智能FOUP

摘要

本实用新型涉及一种智能FOUP，包括FOUP主体、显示屏、CPU处理器、压力传感器、图像传感器、通信模块和电池，所述FOUP主体中的每个隔片均设置有所述压力传感器，所述图像传感器设置于所述FOUP主体的顶板内侧，所述显示屏、压力传感器、图像传感器、通信模块均与所述CPU处理器电连接，所述电池分别与所述显示屏、压力传感器、图像传感器、通信模块和CPU处理器电连接；本实用新型有效实现了FOUP的智能化。

主权项

一种智能FOUP，其特征在于，包括FOUP主体(1)、显示屏(2)、CPU处理器(3)、压力传感器(4)、图像传感器(5)、通信模块(6)和电池(7)，所述FOUP主体(1)包括前板(13)、与前板(13)相对的后板、两侧的侧板(14)、顶板(12)、底板(15)和设置在两侧的侧板(14)上的用于放置晶圆(9)的隔片(11)，每个所述隔片(11)均设置有所述压力传感器(4)，所述图像传感器(5)设置于所述顶板(12)内侧，所述显示屏(2)、压力传感器(4)、图像传感器(5)、通信模块(6)均与所述CPU处理器(3)电连接，所述电池(7)分别与所述显示屏(2)、压力传感器(4)、图像传感器(5)、通信模块(6)和CPU处理器(3)电连接。