[实用新型]腐蚀及加热环境下的原位纳米压痕测试系统有效
| 申请号： | 201620177635.3 | 申请日： | 2016-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN205483876U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 薛兵;刘昱范;薛靖雯;常广锋;雷川川;田金坤;贾英锋 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | G01N3/54 | 分类号： | G01N3/54;G01N17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 450001 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种集宏微驱动、精密加载与位移信号检测为一体的腐蚀及加热环境下的原位纳米压痕测试系统；该系统主要由腐蚀及加热环境装置、x轴方向精密定位平台、y轴方向光学微动平台、z轴方向的精密定位平台和精密压入驱动单元、载荷信号和位移信号的检测单元组成；腐蚀及加热环境装置安装在载物台上，载物台通过y轴方向的精密定位平台装配在底座上，x、y轴方向精密定位平台装配在底座上，z轴方向的精密定位平台装配在竖板上，精密压入驱动单元、检测金刚石工具头压入材料压力的精密力学传感器和精密位移传感器装配在z轴方向的精密定位平台上。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀 加热 环境 原位 纳米 压痕 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种腐蚀及加热环境下的原位纳米压痕测试系统，其特征在于：包括腐蚀及加热环境、x轴精密定位平台、y轴光学微动平台、z轴宏动调整机构、精密压入驱动单元、载荷信号检测单元和位移信号检测单元，其中所述的腐蚀及加热环境通过氮化硅加热元件(18)与腐蚀槽(16)放置于载物台(17)内，载物台(17)与光学微动平台(19)连接，该光学微动平台(19)固定在底座(20)上，精密压入驱动单元通过z轴宏动调整机构固定在竖板(1)上，该竖板(1)固定在x向滑台(25)上。
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