[实用新型]一种射频原子力显微镜扫描探针有效
| 申请号： | 201620157520.8 | 申请日： | 2016-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN205426954U | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 苏丽娜;顾晓峰;秦华 | 申请（专利权）人： | 江南大学 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214122 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种射频原子力显微镜扫描探针。该探针包括探针躯干(1)、探针悬臂梁(2)、探针针尖(3)和探针躯干上的射频传输线(4)。利用该射频原子力显微镜扫描探针对样品进行形貌扫描时，由于射频电路对电抗(容抗和感抗)极其敏感，样品表面形貌的变化将引起容抗的变化，导致射频谐振信号发生偏移。利用射频电路的高速特性，通过该射频谐振信号作为反馈，解决原子力显微镜系统扫描速度较慢的问题，实现高速扫描成像的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 原子 显微镜 扫描 探针 | ||
【主权项】：
一种射频原子力显微镜扫描探针，包括探针躯干、探针悬臂梁、探针针尖和射频传输线；其特征在于：所述探针针尖位于所述探针悬臂梁的一端；所述射频传输线位于所述探针躯干的表面，并沿着探针悬臂梁延伸至探针针尖，提供相应的接地、射频信号的输入和输出；利用射频电路的高速特性及其对电抗的敏感特性，采用射频谐振信号作为反馈，解决原子力显微镜系统扫描速度较慢的问题，实现高速扫描成像的功能。
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