[实用新型]一种聚酰亚胺薄膜石墨化炉有效
| 申请号： | 201620116257.8 | 申请日： | 2016-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN205527764U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 罗选民 | 申请（专利权）人： | 株洲金瑞中高频设备有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/04 | 分类号： | C01B31/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 412000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种聚酰亚胺薄膜石墨化炉，由内至外设置有石墨坩埚，碳毡保温层，绝缘层，感应线圈及具有水冷夹层的炉体，绝缘层为双层刚玉绝缘层。本实用新型提供的聚酰亚胺薄膜石墨化炉，通过在碳毡保温层和感应线圈之间设置双层刚玉绝缘层，解决了高温阶段设备频繁跳机，稳定性差，达不到理想温度的问题，提高了产品质量，减少设备能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚酰亚胺 薄膜 石墨 | ||
【主权项】：
一种聚酰亚胺薄膜石墨化炉，其特征在于，所述聚酰亚胺薄膜石墨化炉由内至外设置有石墨坩埚(1)，碳毡保温层(2)，绝缘层(3)，感应线圈(4)及具有水冷夹层(5)的炉体(6)；所述绝缘层(3)为双层刚玉绝缘层(31)，设置在所述碳毡保温层(2)和所述感应线圈(4)之间；所述石墨坩埚(1)顶部设置有石墨坩埚盖(11)。
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