[实用新型]基于级联耦合微腔的温度/折射率双参数传感器有效
申请号: | 201620021016.5 | 申请日: | 2016-01-07 |
公开(公告)号: | CN205403833U | 公开(公告)日: | 2016-07-27 |
发明(设计)人: | 时尧成;刘鹏浩 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 叶志坚 |
地址: | 310027 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种基于级联耦合微腔的温度/折射率双参数传感器,包括宽带光源、总线波导、第一耦合微腔、第二耦合微腔和光探测器;且宽带光源、总线波导、第一耦合微腔、第二耦合微腔和光探测器自左向右依次耦合连接,第一耦合微腔、第二耦合微腔设置在总线波导的同一侧,且通过倏逝场效应分别与总线波导相耦合。本实用新型中的第一耦合微腔、第二耦合微腔具有不同的谐振波长和不同的光场能量分布比例,第一耦合微腔具有相对更高的折射率响应灵敏度;第二耦合微腔具有相对更高的温度响应灵敏度,利用两个微腔在折射率响应灵敏度和温度响应灵敏度上的显著差异,便能实现在一次测量中同时获得折射率、温度信息。 | ||
搜索关键词: | 基于 级联 耦合 温度 折射率 参数 传感器 | ||
【主权项】:
基于级联耦合微腔的温度/折射率双参数传感器,其特征在于包括宽带光源、总线波导、第一耦合微腔、第二耦合微腔和光探测器;且宽带光源、总线波导、第一耦合微腔、第二耦合微腔和光探测器自左向右依次耦合连接,第一耦合微腔、第二耦合微腔设置在总线波导的同一侧,且通过倏逝场效应分别与总线波导相耦合。
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