[发明专利]基于多光束干涉法制造可变周期光子晶体的装置有效
| 申请号： | 201611255615.4 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106483584B | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 何勇林;炉庆洪;高敏;林国强;杨志林 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G02B1/00 | 分类号： | G02B1/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 马应森;曾权 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 基于多光束干涉法制造可变周期光子晶体的装置，涉及光子晶体。依次设有激光器、空间滤波器、光阑、凸透镜、多光束生成元件、光刻胶板；所述空间滤波器的出光口放置于凸透镜的焦点处，当激光器发出的激光经过空间滤波器扩束后，会变成一束发散光，发散光经过凸透镜时，会变成一束平行光，这束平行光沿着法线方向照射到多光束生成元件上，多光束生成元件对这束平行光的光路进行调整，使其产生多束相干光束，多束相干光束重叠在光刻胶板上，在光刻胶板上对多束光重叠的干涉区域进行单次曝光，经过显影即得可变周期光子晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 光子晶体 凸透镜 光刻胶板 可变周期 生成元件 多光束 平行光 多光束干涉 空间滤波器 相干光束 激光器 发散光 滤波器 单次曝光 法线方向 干涉区域 所述空间 出光口 多束光 焦点处 光阑 光路 扩束 显影 制造 照射 激光 | ||
【主权项】：
基于多光束干涉法制造可变周期光子晶体的装置，其特征在于依次设有激光器、空间滤波器、光阑、凸透镜、多光束生成元件、光刻胶板；所述空间滤波器的出光口放置于凸透镜的焦点处，当激光器发出的激光经过空间滤波器扩束后，会变成一束发散光，发散光经过凸透镜时，会变成一束平行光，这束平行光沿着法线方向照射到多光束生成元件上，多光束生成元件对这束平行光的光路进行调整，使其产生多束相干光束，多束相干光束重叠在光刻胶板上，在光刻胶板上对多束光重叠的干涉区域进行单次曝光，经过显影即得可变周期光子晶体；所述多光束生成元件包括4个反射镜和4个量角器，4个反射镜为反射率高达99％的反射镜。
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