[发明专利]具有减少的非期望声波的传播的集成声学换能器在审
| 申请号： | 201611248216.5 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN107343246A | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | M·莫里利;F·夸利亚;F·F·R·托亚;M·萨姆比;G·巴里拉罗 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R9/06 | 分类号： | H04R9/06;H04R9/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的声学器件具有微机械声学换能器元件(15)；声学衰减区域(40)；以及声学匹配区域(32)，被布置在声学换能器元件(15)和声学衰减区域(40)之间。声学换能器元件(15)被形成在第一衬底(25)中，所述第一衬底容纳定界膜(16)的腔(19)。半导体材料的第二衬底(30)集成电子电路被布置在声学换能器元件(15)和声学衰减区域(40)之间。声学匹配区域(32)具有带有第二衬底的第一界面(32A)和具有带有声学衰减区域(40)的第二界面(32B)。声学匹配区域(32)具有与在第一界面(32A)邻近的第二衬底(30)的阻抗匹配的阻抗，以及与在第二界面(32B)邻近的声学衰减区域(40)的阻抗匹配的阻抗。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 减少 期望 声波 传播 集成 声学 换能器 | ||
【主权项】：
一种声学器件，包括：微机械声学换能器元件(15；115；215；315；415；515)；声学衰减区域(40；140；240；340；340；440；540)；以及声学匹配区域(32；132；232；432；532；233；533)，被布置在所述声学换能器元件(15；115；215；315；415；515)和所述声学衰减区域(40；140；240；340；340；440；540)之间。
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