[发明专利]一种钕玻璃包边面形测量装置有效
申请号: | 201611230615.9 | 申请日: | 2016-12-27 |
公开(公告)号: | CN106855397B | 公开(公告)日: | 2019-05-10 |
发明(设计)人: | 唐景平;王鹏;沈卫星;王福民 | 申请(专利权)人: | 苏州虹贯精益智能科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 陈望坡;黄春松 |
地址: | 215628 江苏省苏州市张家港*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种钕玻璃包边面形测量装置,包括安装架,在安装架上设置有钕玻璃包边放置平台,在钕玻璃包边放置平台上方的安装架上设置有左右走向的导轨,在导轨上滑动设置有能在导轨上左右移动的干涉仪,在干涉仪的二维调整架上设置有标准块,在标准块左右两侧的安装架上分别相对设置有测角激光器及测角相机,所述测角激光器射出的激光光束经过标准块左右两表面后能被测角相机所接收。本发明的优点是:能对标准块的相对偏转角进行测量,标准块相对偏转角可用于辅助修正干涉仪的测量值,大大提高了对钕玻璃包边的面形检测精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 玻璃 包边面形 测量 装置 | ||
【主权项】:
1.一种钕玻璃包边面形测量装置,其特征在于:包括安装架,在安装架上设置有钕玻璃包边放置平台,在钕玻璃包边放置平台上方的安装架上设置有左右走向的导轨,在导轨上滑动设置有能在导轨上左右移动的干涉仪,在干涉仪的二维调整架上设置有标准块,在标准块左右两侧的安装架上分别相对设置有测角激光器及测角相机,所述测角激光器射出的激光光束经过标准块左右两表面后能被测角相机所接收,所述标准块的结构为:标准块呈长方体,标准块的宽度与钕玻璃包边宽度相匹配,标准块的长度为其宽度的1.5~2倍,标准块的高度为其长度的1/6倍,标准块上表面的面形精度PV≤λ/2,标准块下表面的面形精度PV≤λ/10,标准块左表面的面形精度PV≤λ/2,标准块右表面的面形精度PV≤λ/2,标准块的上表面与下表面之间形成的楔角为3~5’,并且标准块的左表面与右表面之间形成的楔角能确保测角激光器射出的激光光束经过标准块左右两表面后能被测角相机所接收。
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