[发明专利]基于柔性制造工艺的高压平面开关结构及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于柔性制造工艺的高压平面开关结构及其制备方法，包括正电极板、负电极板和信号输入极板，正电极板包括正极板绝缘衬底和正电极，负电极板包括负极板绝缘衬底和负电极，信号输入极板包括爆炸箔绝缘衬底、爆炸箔正电极、爆炸箔负电极，爆炸箔正电极、爆炸箔负电极对应设置；负电极板、信号输入极板、正电极板上下层压构成高压平面开关结构，正电极与负电极在空间位置上存在交叉部分，并且正电极板与负电极板之间通过绝缘衬底隔开，爆炸箔正电极与爆炸箔负电极之间的连线经过该交叉部分。本发明采用柔性印制电路板工艺制备高压平面开关，降低了高压平面开关结构的体积，便于与其他器件之间实现集成；由于采用电爆炸产生等离子体击穿绝缘介质击穿，开关响应时间更快。

主权项

1.高压平面开关结构的制备方法，其特征在于：其制备方法如下：A、制备正电极板：采用聚酰亚胺材料制造出正极板绝缘衬底(11)，并在正极板绝缘衬底(11)上表面覆盖一层铜箔形成覆铜膜，然后对该覆铜膜进行曝光、显影、蚀刻工艺处理得到正电极(12)；B、制备负电极板：采用聚酰亚胺材料制造出负极板绝缘衬底(21)，并在负极板绝缘衬底(21)上表面覆盖一层铜箔形成覆铜膜，然后对该覆铜膜进行曝光、显影、蚀刻工艺处理得到负电极(22)；C、制备信号输入极板：采用聚酰亚胺材料制造出爆炸箔绝缘衬底(31)，并在爆炸箔绝缘衬底(31)上表面覆盖两处铜箔形成两处覆铜膜，然后对两处覆铜膜分别进行曝光、显影、蚀刻工艺处理得到爆炸箔正电极(32)和爆炸箔负电极(33)；D、采用层压键合工艺将负电极板(2)、信号输入极板(3)、正电极板(1)依次上下压合在一起，并最终得到高压平面开关结构；此时，正电极板(1)的正电极(12)与负电极板(2)的负电极(22)在空间位置上存在交叉部分(4)，并且正电极板(1)与负电极板(2)之间通过绝缘衬底隔开，所述爆炸箔正电极(32)与爆炸箔负电极(33)之间的连线经过该交叉部分(4)；所述高压平面开关结构，包括正电极板(1)、负电极板(2)和信号输入极板(3)，所述正电极板(1)包括正极板绝缘衬底(11)和设置于正极板绝缘衬底(11)上的正电极(12)，所述负电极板(2)包括负极板绝缘衬底(21)和设置于负极板绝缘衬底(21)上的负电极(22)，所述信号输入极板(3)包括爆炸箔绝缘衬底(31)和设置于爆炸箔绝缘衬底(31)上的爆炸箔正电极(32)、爆炸箔负电极(33)，所述爆炸箔正电极(32)、爆炸箔负电极(33)对应设置；所述负电极板(2)、信号输入极板(3)、正电极板(1)对应上下层压构成高压平面开关结构，所述正电极板(1)的正电极(12)与负电极板(2)的负电极(22)在空间位置上存在交叉部分(4)，并且正电极板(1)与负电极板(2)之间通过绝缘衬底隔开，所述爆炸箔正电极(32)与爆炸箔负电极(33)之间的连线经过该交叉部分(4)；所述正极板绝缘衬底(11)、负极板绝缘衬底(21)、爆炸箔绝缘衬底(31)均由聚酰亚胺材料制造而成，所述正电极(12)、负电极(22)、爆炸箔正电极(32)、爆炸箔负电极(33)均为铜箔材料制造出的覆铜膜；所述爆炸箔正电极(32)与爆炸箔负电极(33)通过导电材料电连接，该导电材料在空间位置上经过该交叉部分(4)；所述负电极板(2)对应爆炸箔正电极(32)开有缺口(23)，所述负电极板(2)对应爆炸箔负电极(33)开有缺口(23)；所述正电极板(1)整体呈长方形，所述正电极(12)整体呈长方形；所述负电极板(2)为与正电极板(1)相对应的长方形状，所述负电极(22)整体呈长方形；所述信号输入极板(3)为与正电极板(1)相对应的长方形状；所述负电极板(2)、信号输入极板(3)、正电极板(1)采用层压键合方式依次上下压合构成高压平面开关结构，高压平面开关结构的交叉部分(4)呈长方形或正方形。