[发明专利]一种应用于湿法设备的盖板有效
| 申请号： | 201611216388.4 | 申请日： | 2016-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN106653658B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 丁鹏;徐海乐;吴利峰;李启明;周笛;徐先华 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;F16B35/06 |
| 代理公司： | 44304 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种应用于湿法设备的盖板：包括盖板本体、螺栓、第一螺母、第二螺母以及刮板；其中，所述螺栓的头部设置在盖板本体外侧，刮板及螺栓的螺杆位于盖板本体内侧；所述第一螺母、第二螺母和刮板套装在螺栓的螺杆上，所述刮板设置在所述第一螺母和第二螺母之间。需要时，将螺栓头部提起，旋转螺栓，盖板本体上的结露则被刮去，简单方便，省电环保。在刮板中央设置凹槽，且凹槽深度大于螺母高度，避免螺母影响刮板刮露效果。将螺栓头部设置为六边形，方便提起和旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 湿法 设备 盖板 | ||
【主权项】：
1.一种应用于湿法设备的盖板，其特征在于，所述盖板包括盖板本体、螺栓、第一螺母、第二螺母以及刮板；/n所述盖板本体上设置有使螺栓的螺杆通过的第二通孔，螺栓贯穿所述第二通孔，并且所述螺栓的头部设置在盖板本体外侧，刮板及螺栓的螺杆位于盖板本体内侧；/n所述第一螺母、刮板和第二螺母依次套装在螺栓的螺杆上，所述刮板可相对所述盖板本体绕所述螺杆的轴心在水平面旋转；/n在未工作时，螺栓的头部放置于盖板本体上与盖板本体相接触，所述第一螺母、刮板以及所述第二螺母因重力自然下垂；工作时，提起螺栓头部，使刮板贴紧盖板本体，并旋转螺栓的头部以完成盖板本体内表面结露的清理。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
