[发明专利]一种掩膜法制绒和刻槽填栅电极太阳能电池的制备方法

摘要

本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其是一种掩膜法制绒和刻槽填栅电极太阳能电池的制备方法，包括如下步骤制作掩膜；刻蚀；扩撒制结、边缘刻蚀、PECVD镀氮化硅减反射薄膜、丝网印刷背极背场；在开槽的部位印刷填充正面电极浆料，烧结形成太阳能电池。本发明采用成熟的压印技术制作掩膜，掩膜清晰度高，容易制备，成本较低。本发明的刻槽方式采用湿法刻蚀的方式，制绒和刻槽同步进行，在一台设备内完成，缩短了制备工艺流程，降低了电池制备成本。在硅片槽内印刷填充浆料后形成的栅线电极，相较于直接印刷在硅片上的电极，有更大的高宽比，能有效降低栅线的功率损失，能大幅提高电池的转换效率。

主权项

一种掩膜法制绒和刻槽填栅电极太阳能电池的制备方法，其特征是，包括如下步骤：步骤一：在硅片表面通过旋涂或者丝网印刷的方式涂覆胶；步骤二：使用预制模板通过热固化压印或者紫外固化压印的方式，在掩膜胶上形成排列的孔并在对应电极位置形成槽；步骤三：使用混酸溶液或者碱溶液对硅片进行腐蚀，在掩膜胶上有孔的地方腐蚀硅片，形成坑状绒面，同时在胶上有槽的硅片上腐蚀形成凹槽；步骤四：使用胶的显影液去胶；步骤五：扩撒制结、边缘刻蚀、PECVD镀减反射薄膜、丝网印刷背电极和背电场；步骤六：使用丝网印刷的方法，将浆料填充进凹槽，并在其上堆积成有较大高宽比的电极栅线；步骤七：高温烧结，形成刻槽填栅电极太阳能电池。