[发明专利]一种PERC电池正面减反膜的制备方法

摘要

本申请公开了一种PERC电池正面减反膜的制备方法，在对硅片进行制绒、扩散、背面抛光和刻蚀之后，包括在所述电池的正面和背面制作氧化硅膜；在所述硅片的背面制作氧化铝膜和背面减反膜；在所述硅片的正面制作至少两层正面减反膜，其中，每制作一层所述正面减反膜之后，将所述硅片恒温静置预设时间，以释放出氢原子与空位、缺陷、杂质和晶界上的悬挂键结合。本申请提供的上述PERC电池正面减反膜的制备方法，能够有效地激发出背面Al2O3薄膜和正背面SiNx薄膜的钝化效果，降低载流子的复合，提升电池的少子寿命，从而提升电池的电性能。

主权项

一种PERC电池正面减反膜的制备方法，其特征在于，在对硅片进行制绒、扩散、背面抛光和刻蚀之后，包括：在所述电池的正面和背面制作氧化硅膜；在所述硅片的背面制作氧化铝膜和背面减反膜；在所述硅片的正面制作至少两层正面减反膜，其中，每制作一层所述正面减反膜之后，将所述硅片恒温静置预设时间，以释放出氢原子与空位、缺陷、杂质和晶界上的悬挂键结合；所述每制作一层所述正面减反膜之后，将所述硅片恒温静置预设时间包括：制作第一层正面减反膜之后，将各个温区的温度提高第一预设梯度，并恒温静置2分钟至6分钟；制作第二层正面减反膜之后，将各个温区的温度继续提高第二预设梯度，并恒温静置5分钟至25分钟。