[发明专利]高灵敏度麦克风及其制造方法

摘要

本申请涉及一种高灵敏度麦克风及其制造方法。该高灵敏度麦克风包括：基板，其具有设置于其中央部分中的穿透部分；振动膜，其设置在基板上并覆盖穿透部分；固定膜，其安装在振动膜上方，通过介于两者之间的空气层而与振动膜隔开，并该固定膜具有在朝向空气层的方向上穿孔的多个进气口；以及多个支柱，其作为固定膜和振动膜之间的竖直弹性柱，并通过摩擦力机械地固定振动膜而所施加的电压无关。

主权项

一种高灵敏度麦克风，包括：基板，具有设置于所述基板的中央部分中的穿透部分；振动膜，设置在所述基板上并覆盖所述穿透部分；固定膜，设置在所述振动膜的上方，通过介于所述固定膜和所述振动膜之间的空气层与所述振动膜隔开，并且所述固定膜具有在朝向所述空气层的方向上穿孔的多个进气口；以及多个支柱，设置在所述固定膜和所述振动膜之间，作为弹性竖直柱，并且这些支柱通过摩擦力而机械地固定所述振动膜，而与所施加的电压无关。