[发明专利]一种紫外激光投影镜头有效
| 申请号： | 201611137768.9 | 申请日： | 2016-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN106681093B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 尹广玥;游利兵;方晓 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G03B21/20 | 分类号： | G03B21/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 金凯 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种紫外激光投影镜头，属于光学镜头技术领域。所述紫外激光为波长为200nm~400nm的准分子激光，紫外激光投影镜头包括光学结构和机械结构两部分，光学结构包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜，第二透镜，第三透镜，其中第一透镜为双凸型柱面正透镜，第二透镜为凹凸型柱面负透镜，第三透镜为双凸型柱面正透镜；机械结构包括沿入射光线传输方向依次设置的固定架，第一调节组件，第二调节组件，第三调节组件。本发明的镜头结构简单，易于装调，生产成本低，便于拆装和维护，可应用于平板显示低温多晶硅制备的光束整形系统中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 激光 投影 镜头 | ||
【主权项】：
一种紫外激光投影镜头，其特征在于：包括光学结构和机械结构两部分，光学结构卡设在机械结构中，光学结构包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜(101)、第二透镜(102)、第三透镜(103)，其中第一透镜(101)为双凸型柱面正透镜，第二透镜(102)为凹凸型柱面负透镜，第三透镜(103)为双凸型柱面正透镜；所述机械结构包括沿入射光线传输方向依次设置的固定架(201)、第一固定座(202)、第一调节座(203)、第二调节座(205)、第二固定座(204)、第三调节座(207)、第三固定座(206)、以及连接固定座与调节座的9组调节螺钉(208)与9组调节垫片(209)、连接固定架与固定座的12组调节螺钉(211)与8组调节垫片(210)，固定架(201)包括第一级定位台阶(212)和第二级定位台阶(213)。
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