[发明专利]一种三层结构敏感层酞菁气敏传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201611122907.0 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN106706718B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 张宪民;张润鑫;艾小薇;包涵;林佳新;仝军伟;秦高梧 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 沈阳东大知识产权代理有限公司 21109 | 代理人： | 刘晓岚 |
| 地址： | 110819 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： |
一种三层结构敏感层酞菁气敏传感器及其制备方法，属于气体传感器领域。该三层结构敏感层酞菁气敏传感器含有的结构自下而上依次为基底、底电极、介电层、敏感层和上电极，敏感层为TiO |
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| 搜索关键词： | 一种 三层 结构 敏感 层酞菁气敏 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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