[发明专利]基于调制度的宽光谱干涉的零级条纹的寻找方法在审
申请号: | 201611108732.8 | 申请日: | 2016-11-21 |
公开(公告)号: | CN106556340A | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 陈楚怡;周毅;刘俊伯;邓钦元;邓茜;唐燕;杨勇;赵立新 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02;G01B11/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于调制度的宽光谱干涉的零级条纹的寻找方法,条纹干涉图中,利用二维傅里叶变换,获得干涉图的频谱信息,然后进行基频信息提取,进而再逆傅里叶变换,通过相关计算获得单帧条纹图中单个像素点的调制度信息,最后沿扫描方向针对单个像素点定位最大调制度值,从而确定零级条纹。这种方法可以消除光强不稳定性对测量结果带来的影响,消除高频和背景信息的干扰,提高了传统宽光谱干涉形貌测量法的精确度和灵敏度,并可以自动分辨物体或波峰的起伏变化。 | ||
搜索关键词: | 基于 调制 光谱 干涉 条纹 寻找 方法 | ||
【主权项】:
一种基于调制度的宽光谱干涉的零级条纹的寻找方法,其特征是:条纹干涉图中,利用二维傅里叶变换,获得干涉图的频谱信息,然后进行基频信息提取,进而再逆傅里叶变换,通过相关计算获得单帧条纹图中单个像素点的调制度信息,最后沿扫描方向针对单个像素点定位最大调制度值,从而确定零级条纹。
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