[发明专利]一种膜厚测量系统有效
| 申请号： | 201611099558.5 | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN108151661B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 刘玉;陈喆;李承东;操金明;潘占福;刘冬;程小辉;赵晨思 | 申请（专利权）人： | 上海ABB工程有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏金霞;王艳江 |
| 地址： | 201319 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种膜厚测量系统，包括：测量头，适于测量待测工件上测量点的膜厚，以得到与所述膜厚关联的测量信号；机械臂，所述测量头固定于所述机械臂上；机器人控制部件，与所述测量头和机械臂耦接，适于对所述测量信号进行数据采集，并根据数据采集结果控制所述机械臂的运动；上位机，与所述机器人控制部件耦接。本发明方案膜厚测量系统膜厚测量时间短，系统响应速度快，系统成本低，且利于维护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种膜厚测量系统，其特征在于，包括：测量头，适于测量待测工件上测量点的膜厚，以得到与所述膜厚关联的测量信号；机械臂，所述测量头固定于所述机械臂上；机器人控制部件，与所述测量头和机械臂耦接，适于对所述测量信号进行数据采集，并根据数据采集结果控制所述机械臂的运动；上位机，与所述机器人控制部件耦接。
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