[发明专利]具有原位清洁能力的旋转卡盘

摘要

本发明涉及具有原位清洁能力的旋转卡盘。在用于处理晶片状物品的方法和装置中，旋转卡盘定位在处理室内部。所述旋转卡盘被配置成将晶片状物品保持在预定处理位置。盖覆盖所述旋转卡盘并且固定到所述旋转卡盘或与所述旋转卡盘成一体以与其一起旋转。所述盖具有中心开口。固定喷嘴组件延伸到处理室中，使得所述固定喷嘴组件的排放端穿过所述盖的所述中心开口。所述喷嘴组件包括冲洗喷嘴，所述冲洗喷嘴被配置成将冲洗液体从所述喷嘴组件径向向外引导到所述盖的面向下方的表面上。

主权项

一种用于处理晶片状物品的装置，其包括：处理室；位于所述处理室内的旋转卡盘，所述旋转卡盘被配置为将晶片状物品保持在预定处理位置；覆盖所述旋转卡盘并且固定到所述旋转卡盘或与所述旋转卡盘一体形成以与其一起旋转的盖，所述盖具有中心开口；以及固定喷嘴组件，其延伸到所述处理室中，使得所述固定喷嘴组件的排放端穿过所述盖的所述中心开口；所述喷嘴组件包括冲洗喷嘴，所述冲洗喷嘴被配置成将冲洗液体从所述喷嘴组件径向向外引导至所述盖的面向下方的表面上。