[发明专利]一种激光蚀刻OGS触摸屏导电薄膜

摘要

本发明公开了一种激光蚀刻OGS触摸屏导电薄膜，包括玻璃基底，所述玻璃基底的顶部设有导电薄膜层，所述导电薄膜层的周边设有油墨层，且油墨层位于玻璃基底和导电薄膜层之间，所述玻璃基底的内部两侧均设有加热装置，所述加热装置位于油墨层的正下方，且加热装置连接有透明导热片，所述透明导热片位于玻璃基底内，且透明导热片位于加热装置之间，所述玻璃基底内设有温度传感器，所述温度传感器为两个，且分别位于加热装置的正上方，所述玻璃基底的两侧均设有连接装置，所述连接装置的底部设有柔性电极板。本发明结构简单，减少加工工艺，提高加工质量，生产良率高、生产成本低，且能够进行加热，提升用户的体验感。

主权项

一种激光蚀刻OGS触摸屏导电薄膜，包括玻璃基底(1)，其特征在于，所述玻璃基底(1)的顶部设有导电薄膜层(2)，所述导电薄膜层(2)的周边设有油墨层(3)，且油墨层(3)位于玻璃基底(1)和导电薄膜层(2)之间，所述玻璃基底(1)的内部两侧均设有加热装置(4)，所述加热装置(4)位于油墨层(3)的正下方，且加热装置(4)连接有透明导热片(5)，所述透明导热片(5)位于玻璃基底(1)内，且透明导热片(5)位于加热装置(4)之间，所述玻璃基底(1)内设有温度传感器(8)，所述温度传感器(8)为两个，且分别位于加热装置(4)的正上方，所述玻璃基底(1)的两侧均设有连接装置(6)，所述连接装置(6)的底部设有柔性电极板(7)，所述柔性电极板(7)的一端延伸至玻璃基底(1)内，且柔性电极板(7)分别与导电薄膜层(2)、加热装置(4)和温度传感器(8)连接；S1：蚀刻材料和基底的准备，准备ITO材料和玻璃基底(1)；S2：蚀刻设备的准备，准备能够提供紫外光源的波长为351‑356nm的紫外激光器及外围辅助光学部件、光学系统、扫描振镜和吸附膜材的真空平台；S3：导电薄膜层(2)的镀膜，在玻璃基底(1)的顶面周边丝印油墨，形成油墨层(3)，油墨层(3)在玻璃基底(1)上围成视窗区，然后用雷射干刻机将ITO材料制成导电薄膜层(2)，再采用真空溅射镀膜工艺将导电薄膜层(2)镀在油墨层(3)的顶面，使得导电薄膜层(2)覆盖油墨层(3)和视窗区；S4：导电薄膜层(2)的蚀刻，将镀膜后的玻璃基底(1)放在真空平台上，使得导电薄膜层(2)位于上方，然后启动紫外激光器，用外围辅助光学部件中的1/2波片和格兰棱镜对紫外激光器发出的光束进行功率调制，达到导电薄膜层(2)的去除能量阈值，接着用外围辅助光学部件中的扩束镜对调制后的光束进行同轴扩束，再用外围辅助光学部件中的聚焦镜对扩束后的光束进行聚焦，达到输出光束的直径为10‑80um，同时使得光束在导电薄膜层(2)上的聚焦光斑的径长为10‑50um后，用扫描振镜对图形进行扫描，最后通过光学系统将扫描图形转换为数字信号，控制紫外激光器在导电薄膜层(2)表面进行刻蚀，蚀刻产生的粉尘由吹气装置产生气流，并通过集尘装置收集粉尘，完成OGS触摸屏导电薄膜的激光蚀刻。