[发明专利]基板清洁干燥装置及其维护方法有效
| 申请号： | 201611067009.X | 申请日： | 2016-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN106526915B | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 苏彦荧 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板清洁干燥装置及其维护方法，其通过将基板清洁干燥装置中两个基板清洁干燥单元的进气通路和出气通路分别通过两个三通阀连接到一起，使得当其中一个基板清洁干燥单元的增压泵出现故障需要维护时，可在维护期间利用另一个基板清洁干燥单元的增压泵来继续工作，从而减少因增压泵出现故障而导致基板清洁干燥单元无法工作的问题，能够提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基板清洁 干燥单元 干燥装置 增压泵 维护 三通阀连接 出气通路 进气通路 生产效率 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洁干燥装置，其特征在于，包括：至少一个基板清洁干燥单元组，每一个基板清洁干燥单元组包括两个基板清洁干燥单元(1)；每一个基板清洁干燥单元(1)均包括：工作舱(11)、增压泵(12)、第一三通阀(13)以及第二三通阀(14)；所述工作舱(11)上设有工作舱出气口(111)以及工作舱进气口(112)；所述增压泵(12)上设有增压泵进气口(121)以及增压泵出气口(122)；每一个基板清洁干燥单元(1)中，所述第一三通阀(13)的进气口连接所述工作舱出气口(111)，主出气口连接所述增压泵进气口(121)，副出气口连接与该基板清洁干燥单元(1)所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元(1)的第一三通阀(13)的副出气口；所述第二三通阀(14)的进气口连接所述增压泵出气口(122)，主出气口连接所述工作舱进气口(112)，副出气口连接与该基板清洁干燥单元(1)所在基板清洁干燥单元组中的另一个基板清洁干燥单元(1)的第二三通阀(14)的副出气口。
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