[发明专利]非晶硅太阳能电池生产方法

摘要

本发明公开了一种非晶硅太阳能电池生产方法，其特征在于按下列步骤，（1）红激光刻膜，（2）装片预热，（3）非晶硅的沉积，（4）绿激光切割，（5）印刷、固化，（6）切割，（7）检测。本发明去掉传统工艺中印刷耐酸油墨和剥墨显影工序，缩减了生产时间，本发明通过生产工艺改进，使PIO层中的P层加厚，凹凸面增大增多，P层的放电时间增加2‑4分钟，温度降15±5℃左右，碳浆里面加银浆，这样不但电流上去了，其附着力比先前更好，生产出来的产品性能稳定，附着力提升10‑16%、电阻下降2‑6％，电流增加4‑11％。

主权项

一种非晶硅太阳能电池生产方法，其特征在于：按下列步骤（1）红激光刻膜：导电玻璃即ITO导电片清洗后用波长 635‑671nm激光将导电玻璃刻划成互相独立部分，线条宽度为50‑100um，线速500‑700mm/s，并进行清洗；（2）装片预热：将刻划好的ITO导电片与沉积夹具装配后推入烘炉，160‑175℃预热2小时；（3）非晶硅的沉积：将预热好的ITO导电片移入沉积炉中进行PIN层放电，沉积p层非晶硅工艺条件：使用B2H6、SiH4、CH4、Ar气体，沉积温度180～210℃，功率密度0.18～0.40W/ cm 2，硅烷与甲烷流量比为10：1～1.35，沉积压力为75～88Pa，放电时间500s；Ｉ层非晶硅层工艺条件：使用SiH4、H2气体，沉积温度180～210℃，功率密度0.18W/cm2，沉积压力为70～85Pa，放电时间3000s；Ｎ层非晶硅工艺条件：使用PH3、SiH4、Ar气体，沉积温度180～210℃，功率密度0.18～0.40W/cm2，沉积压力为80～100Pa，放电时间240s ；射频放电功率参数为12‑14W，冷却后卸片；（4）绿激光切割，用波长420‑500nm的激光对沉积好非晶硅膜的导电片进行切割；（5）印刷、固化，分别通过制版印刷并固化，背电极所用材料为碳银浆，其固化温度130℃±15℃、固化时间40m（分钟）；背漆所用材料为防焊油墨，其固化温度115℃±10℃、固化时间30m；字符所用材料为油墨，其固化温度100℃±15℃、固化时间20m；印刷铜浆固化温度150℃±15℃、固化时间45m，所说的碳银浆即碳浆中加入4‑10％重量比的银浆，混匀后静置30分钟使用；（6）切割：按电池的规格参数尺寸±0.2mm进行多刀切割，切割完毕进行裂片；（7）检测：根据产品型号及客户要求，在光照度200Lux±5、温度25℃下分别对产品的空载及负载情况下的电流、电压进行检测、分档，最后包装。