[发明专利]调整光束倾斜角的方法和调整光束倾斜角的照明装置在审
| 申请号： | 201611052740.5 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN108107050A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王赛;申永强 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种调整光束倾斜角的方法，包括如下步骤：步骤一：采用准直镜头将光束进行准直，准直后的光束，光束中光线的发散角较小；步骤二：采用角度调节器将准直后的光束调整光束的倾斜角。提高了光束角度的一致性，提高照明视场的均匀性，并且操作简单，提高了生产效率。本发明还公开了一种调整光束倾斜角的照明装置，包括至少一组照明机构，所述照明机构包括沿光线传播方向设置的光源、准直镜头和角度调节器，所述光源发出光束经所述准直镜头调整成为平行光束，然后，光束经过所述角度调节器调节实现光束的角度偏转，入射至待测平板表面，从而实现大角度斜入射照明效果。 | ||
| 搜索关键词： | 光束倾斜角 角度调节器 准直镜头 照明机构 照明装置 光源 方向设置 光束调整 光线传播 角度偏转 平板表面 平行光束 生产效率 照明视场 照明效果 发散角 均匀性 斜入射 入射 准直 | ||
【主权项】：
1.一种调整光束倾斜角的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一：采用准直镜头将光束进行准直；步骤二：采用角度调节器调整准直后的光束的倾斜角。
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