[发明专利]微型流体致动器有效
| 申请号： | 201611048012.7 | 申请日： | 2016-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN108080041B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 胡丛余 | 申请（专利权）人： | 胡丛余 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 王江富 |
| 地址： | 200120 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型流体致动器，其包括地极板、电极板；电极板包括一电极板基板、N线路层、N绝缘层、一电极层；每一线路层包括至少一条线条状的导电线路；线路层、绝缘层由下到上依次间隔布置；最下层线路层覆盖在电极板基板上，电极层的电极阵列覆盖在最上层绝缘层上；最上层绝缘层上设置有与电极层的电极排列一致的通孔阵列；各线路层的各条导电线路分别穿过位于其上方的绝缘层上的相应通孔连接电极层的一电极。本发明还公开了另外一种微型流体致动器，电极层设在电极板基板上，线路层、绝缘层由下到上依次间隔布置在电极板基板下方。本发明的微型流体致动器，其芯片面积小，成本低，而且能够对液滴进行多方向移动，分裂，合并等控制。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 流体 致动器 | ||
【主权项】：
1.一种微型流体致动器，包括一片地极板、一片电极板；其特征在于，所述电极板包括一层电极板基板、N层线路层、N层绝缘层、一层电极层，N为正整数；每一线路层，包括一条或多条线条状的导电线路；所述线路层、绝缘层由下到上依次间隔布置；最下层线路层覆盖在电极板基板上，电极层的电极阵列覆盖在最上层绝缘层上；最上层绝缘层上设置有与所述电极层的电极排列一致的通孔阵列；各线路层的各条导电线路分别穿过位于其上方的绝缘层上的相应通孔连接电极层的一电极；或者，所述线路层、绝缘层由上到下依次间隔布置；电极板基板覆盖在最上层线路层上，电极层的电极阵列覆盖在电极板基板上；电极板基板上设置有与所述电极层的电极排列一致的通孔阵列；最上层线路层的各条导电线路分别穿过位于其上方的电极板基板上的相应通孔连接电极层的一电极；其他线路层的各条导电线路分别穿过位于其上方的绝缘层及电极板基板上的相应通孔连接电极层的一电极。
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