[发明专利]一种研究膜‑基体复合结构力学性质的方法及系统在审
| 申请号： | 201611042256.4 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN106802260A | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;方旭飞;李燕 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N3/40 | 分类号： | G01N3/40;G01N27/30 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人： | 马永芬 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及工程材料技术领域，具体涉及一种纳米压痕法研究膜‑基体复合结构力学性质的方法及系统。所述膜‑基体复合结构力学性质的方法包括阳极化处理，在基材表面原位、实时生长氧化膜；压痕处理，中止极化并对所述氧化膜进行压痕处理。所述阳极化处理步骤和所述压痕处理步骤交替进行N次，N≥2，测试不同厚度比条件下的膜‑基体复合结构的弹性模量和硬度，利用纳米压痕理论建立实验测量得到的模量和硬度与膜、基体各自的模量和硬度之间的关系。所述测试膜‑基体复合结构力学性质的系统包括电化学组件和纳米压痕组件，可以极大程度地拓展纳米压痕仪所能实现的问题研究范围，并为研究电化学环境下薄膜‑基体变形机理提供新的分析手段。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研究 基体 复合 结构 力学 性质 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种研究膜‑基体复合结构力学性质的方法，其特征在于，包括以下步骤：阳极化处理，在基材表面原位、实时生长氧化膜；压痕处理，中止极化并对所述氧化膜进行压痕处理；其中，所述阳极化处理步骤和所述压痕处理步骤交替进行N次，N≥2，测试不同厚度比条件下的膜‑基体复合结构的力学参数。
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