[发明专利]电容式加速度计有效
| 申请号： | 201611019474.6 | 申请日： | 2012-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN107064557B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 沈靖凯 | 申请（专利权）人： | 立积电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 31273 上海市锦天城律师事务所 | 代理人： | 刘民选 |
| 地址： | 中国台湾台北市内湖区*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式加速度计，包括基板及第一半导体结构层。第一半导体结构层设置在基板上，包括第一质量块、第一及第二支撑基座、第一及第二弹性件，及至少二第一梳状电容组及至少二第二梳状电容组。第一及第二支撑基座分别对应第一及第二轴向。第一弹性件以对应于第一轴向来回弯折的方式连接在第一质量块及第一支撑基座间。第二弹性件以对应于第二轴向来回弯折的方式连接在第一质量块及第二支撑基座间。至少二第一梳状电容组及至少二第二梳状电容组设置在对应第一及第二轴向的位置上且连接于第一质量块。第一轴向垂直于第二轴向。借此，电容式加速度计的体积可进一步地缩减。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 加速度计 | ||
【主权项】：
1.一种电容式加速度计，其特征在于，所述电容式加速度计包括：/n一基板；及/n一第一半导体结构层，设置在所述基板上，所述第一半导体结构层包括：一第一质量块；/n至少二个第一梳状电容组，连接在所述第一质量块对应一第一轴向的至少一侧上；/n至少二个第一支撑基座，设置在所述至少二个第一梳状电容组之间，且设置在与所述至少二个第一梳状电容组的相同一侧上；/n至少二个第一弹性件，设置在所述至少二个第一梳状电容组之间，且设置在与所述至少二个第一梳状电容组的相同一侧上，每一个所述第一弹性件以对应所述第一轴向来回弯折的方式连接在所述第一质量块及所述第一支撑基座之间；/n至少二个第二梳状电容组，连接在所述第一质量块对应一第二轴向的至少一侧上；/n至少一第二支撑基座，设置在所述至少二个第二梳状电容组之间；及/n一第二弹性件，以对应所述第二轴向来回弯折的方式连接在所述第一质量块及所述第二支撑基座之间；/n其中所述第一轴向垂直于所述第二轴向。/n
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