[发明专利]一种Z型梁结构的微惯性开关

摘要

本发明提供了一种Z型梁结构的微惯性开关，所述微惯性开关是采用了MEMS技术加工的低g值微惯性开关芯片，主要由玻璃盖板、质量块‑弹簧梁硅结构、玻璃基底等几部分组成，弹簧梁结构为对称的Z型梁。在工作时，当敏感方向有过载作用时，Z型梁发生弹性变形，质量块向玻璃基底凹槽内的接触凸点运动，当过载达到一定阈值的时候，质量块上的金属电极与基底凹槽内任意相邻的两个接触凸点发生接触，微惯性开关导通。本发明的Z型梁结构的微惯性开关具有抗横向过载能力强、可生产性好、可靠性高等优点，适用于汽车与工业生产安全控制和航空航天等领域。

主权项

一种Z型梁结构的微惯性开关，其特征在于，所述的微惯性开关包括盖板（1）、结构层（2）和基底（3），所述盖板（1）、结构层（2）、基底（3）由上至下通过键合连接，盖板（1）和基底（3）的材料为玻璃，结构层（2）的材料为硅；所述的结构层（2）包括质量块（21）、Z型梁（20）和硅框（22），结构层（2）的中心为圆柱形的质量块（21），结构层（2）的内圈中空，结构层（2）的外圈为矩形的硅框（22）；所述的质量块（21）的下表面中心覆盖有接触电极（40）；在结构层（2）的内圈中，每2个对称排列的Z型梁（20）形成1组，多组Z型梁环绕质量块（21）周向均匀分布，Z型梁（20）的两端分别连接到质量块（21）和硅框（22）上，Z型梁（20）将质量块（21）支撑在硅框（22）中心；所述的盖板（1）的下表面有与质量块（21）对应的圆形凹槽I（33），圆形凹槽I（33）约束质量块向上的运动位移，圆形凹槽I（33）内覆盖有金属薄膜I（31）；所述的基底（3）的上表面有与质量块（21）对应的圆形凹槽II（54），圆形凹槽II（54）约束质量块向下的运动位移，圆形凹槽II（54）分布有开关电极I（4）、开关电极II（5）。