[发明专利]一种基于CDSEM的特征识别方法及装置有效
| 申请号： | 201610984604.3 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN108062500B | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 柏耸;袁可方 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00;G06K9/62 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张振军;吴敏 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于CDSEM的特征识别方法及装置，所述方法包括：通过CDSEM获取训练衬底的CDSEM识别信息，所述训练衬底上设置有已知的特征，所述CDSEM识别信息包括CDSEM图像及其相应的CDSEM特征曲线；根据所述训练衬底的CDSEM识别信息以及所述已知的特征对神经网络进行训练，以使得训练后的神经网络适于对待识别衬底进行特征识别。本发明的方案能够基于CDSEM对半导体衬底的特征进行更为准确的识别。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 cdsem 特征 识别 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基于CDSEM的特征识别方法，其特征在于，包括：通过CDSEM获取训练衬底的CDSEM识别信息，所述训练衬底上设置有已知的特征，所述CDSEM识别信息包括CDSEM图像及其相应的CDSEM特征曲线；根据所述训练衬底的CDSEM识别信息以及所述已知的特征对神经网络进行训练，以使得训练后的神经网络适于对待识别衬底进行特征识别。
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