[发明专利]一种吸附成膜型咪唑啉缓蚀剂及其制备方法有效
| 申请号： | 201610963169.6 | 申请日： | 2016-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN106543083B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 李志元;王素芳;徐慧;丁秋炜;丁舒;林蓓;于晓微;滕厚开 | 申请（专利权）人： | 中海油天津化工研究设计院有限公司;中海油能源发展股份有限公司 |
| 主分类号： | C07D233/26 | 分类号： | C07D233/26;C23F11/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300131 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开了一种吸附成膜型咪唑啉缓蚀剂及其制备方法。该咪唑啉缓蚀剂的结构式为 |
||
| 搜索关键词： | 一种 吸附 成膜型 咪唑 啉缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种吸附成膜型咪唑啉缓蚀剂，其特征在于，该咪唑啉缓蚀剂的结构式如下：![]()
其中：R为‑Ph、环烷基、或1～20个C原子的直链或支链烃基；n为1,2。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中海油天津化工研究设计院有限公司;中海油能源发展股份有限公司，未经中海油天津化工研究设计院有限公司;中海油能源发展股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610963169.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
