[发明专利]一种光谱分析系统和光谱分析方法在审
| 申请号： | 201610937270.4 | 申请日： | 2016-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN106546330A | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 程嘉;邓龙虎;刘伟峰;季林红;蒲以康 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/28;G01N21/01;G01N21/27 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司11246 | 代理人： | 朱琨 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于光谱分析的技术领域，尤其涉及一种光谱分析系统和光谱分析方法，该系统包括切尼特纳光路模块、光电倍增管阵列模块、放大器模块、计数器模块、供电系统、冷却系统和等离子几机台；所述切尼特纳光路模块分别与所述等离子几机台和所述光电倍增管阵列模块连接，所述放大器模块分别与所述计数器模块和所述光电倍增管阵列模块连接，所述供电系统和所述冷却系统与所述光电倍增管阵列模块连接。本发明公布的光谱分析系统同时兼具了高的时间分辨率和测量一段光谱能力，可以测量等离子体光谱的平面分布状况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光谱分析 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种光谱分析系统，其特征在于，包括：切尼特纳光路模块、光电倍增管阵列、放大器阵列、计数器阵列、高压供电系统、冷却系统和等离子体机台；所述切尼特纳光路模块分别与所述等离子体机台和所述光电倍增管阵列连接，所述放大器阵列分别与所述计数器阵列和所述光电倍增管阵列连接，所述高压供电系统和所述冷却系统与所述光电倍增管阵列连接。
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