[发明专利]边沿缓变有效
| 申请号： | 201610935541.2 | 申请日： | 2013-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN106937476B | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克;安德鲁·S·方 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及边沿缓变，具体描述了用于执行边沿缓变的方法。一种方法包括产生第一射频信号。所述第一射频信号从一种状态渡越到另一种状态。所述第一射频信号从一种状态到另一种状态的所述渡越导致等离子体阻抗的改变。该方法进一步包括产生第二射频信号。所述第二射频信号从一种状态渡越到另一种状态以稳定所述等离子体阻抗的改变。该方法包括当所述第二射频信号从一种状态渡越到另一种状态时，提供参数值用于执行所述第二射频信号的边沿缓变。当所述第二射频信号从一种状态渡越到另一种状态时，提供参数值用于执行所述第二射频信号的边沿缓变，其中执行第二射频信号的边沿缓变以将第二射频信号的渡越速率改变为不同于所述第一射频信号的渡越速率。 | ||
| 搜索关键词： | 边沿 | ||
【主权项】：
1.一种用于稳定等离子体阻抗的改变的方法，其包括：产生第一射频(RF)信号，其中所述第一RF信号从一种状态渡越到另一种状态，所述第一RF信号从一种状态到另一种状态的所述渡越导致所述等离子体阻抗的改变；产生第二RF信号，其中所述第二RF信号从一种状态渡越到另一种状态；当所述第二RF信号从一种状态渡越到另一种状态时，提供参数值用于执行所述第二RF信号的边沿缓变，其中执行第二RF信号的边沿缓变以将第二RF信号的渡越速率改变为不同于所述第一RF信号的渡越速率，以稳定所述等离子体阻抗的改变。
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